精密加工：微细加工技术

各种微型电子设备已广泛在工业、农业、国防、交通、家庭等中应用，结构愈来愈复杂，要求体积小，重量轻，成本低，可靠性高。

微细加工技术的含义：
一般指微小零件的生产加工技术。

从广义上讲包括：
切削加工、磨料加工、电火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、等离子体加工、激光加工、电子束加工、离子束加工、光刻加工、电铸加工等。

从狭义上讲主要指：
半导体集成电路制造技术，多指集成电路制造工艺，如：光刻技术、离子束溅射、真空蒸镀、化学气相沉积等。

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