精密加工和超精密加工方法：

根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法，可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。

(1)去除加工

又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光等，以及特种加工中的电火花加工、电解加工等，均属这种加工方法。

(2)结合加工

利用物理和化学方法，将不同材料结合在一起。按结合的机理、方法、强弱等，它又分为附着、注入和连接三种。①附着加工又称为沉积加工，是在工件表面上覆盖一层物质，是一种弱结合，典型的加工方法是镀;②注入加工又称为渗入加工，是在工件表面上注入某些元素，使之与基体材料产生物理化学反应，是具有共价键、离子键、金属键的强结合，用以改变工件表层材料的力学机械性质，如渗碳渗氮等;③连接是将两种相同或不同材料通过物化方法连接在一起，如焊接、粘接等。

(3)变形加工

又称为流动加工，利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，改变其尺寸、形状和性能。