精密和超精密加工的设备要求：

(1)高精度

包括高的静精度和动精度，主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等，如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等;

(2)高刚度

包括高的静刚度和动刚度，除本身刚度外，还应注意接触刚度，以及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。

(3)高稳定性

设备在经运输、存储以后，在规定的工作环境下使用，应能长时间保持精度、抗干扰、稳定工作。设备应有良好的耐磨性、抗振性等。

(4)高自动化

为了保证加工质量，减少人为因素影响，加工设备多采用数控系统实现自动化。